14nm1

上海新阳干法蚀刻后清洗液已实现14nm以上技术节点全覆盖
9月21日消息,上海新阳半导体材料股份有限公司在互动平台上表示,公司目前在手订单产量饱满,ArF光刻胶尚处于验证阶段。电镀液及添加剂产品已覆盖90-14nm技术节点,干法蚀刻后清洗液已经实现14nm以 ...